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在SPS燒結(jié)爐過程中,脈沖電流對粉末表面氧化膜的“破碎”或去除,并非單一機制作用,而是局部超高溫度場、放電等離子體物理轟擊、脈沖電動力以及軸向壓力協(xié)同作用的結(jié)果。這一過程主要發(fā)生在燒結(jié)初期,顆粒間的微小間隙(接觸電阻較大)處。
加熱啟動時,當(dāng)溫度低于200℃時,請選擇手動加熱。在控制面板的手動操作菜單中,注意在首次使用時,上下移動旋鈕一次,然后將其移動到手動位置以開始加熱。輸入約50以確認(rèn)。
熱壓燒結(jié)爐根據(jù)設(shè)備平面布置圖將設(shè)備就位,連接所有真空管道和閥門,注意機械泵應(yīng)與地面固定或在四角用阻尼橡膠板墊好,并檢查所有附件是否與裝運清單一致。
真空熱壓燒結(jié)爐正常運行時,冷卻水溫度應(yīng)控制在15℃至25℃之間。當(dāng)冷卻水溫度超過25℃但低于30℃時,出水溫度也會升高。為了確保硅片出口溫度不超過40℃,此時必須增加冷卻水的流量。當(dāng)溫度超過30℃時,必須立即通知上一工序,停止硅片流入燒結(jié)爐。
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